Diese Vorlesung behandelt spezielle und komplexe Probleme bei der Herstellung von integrierten Bauelementen und Schaltungen. Sie baut auf den Vorlesungen Grundlagen der Halbleiterbauelemente und Halbleitertechnologie auf und beschäftigt sich mit dem Zusammenspiel der verschiedenen Prozessschritte bei der Herstellung von integrierten Schaltungen.
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MBE 2020
Inhalt
- Trends in der Elektronik
- Manufacturing / Ausbeute/Statistische Parameterkontrolle/Technologietransfer
- Isolationstechniken
- Kontakte und Interconnects (Back-End-of-Line)
- ein CMOS-Ablauf im Detail
- High-K Dielektrika
- Grundlagen der Epitaxie / Verspannte Schichten
- Heteroepitaktische Bauelemente
- mögliche zukünftige Entwicklungen der Elektronik
Termine und Unterlagen
Kontaktpersonen
Vorlesung
Dr.-Ing. Jan Krügener
Wissenschaftliche Mitarbeiterinnen und Mitarbeiter
Oberingenieur
Oberingenieur
Telefon
Fax
E-Mail
Adresse
Schneiderberg 32
30167 Hannover
30167 Hannover
Gebäude
Raum
Übung
Hannah Naomi Genath, M. Sc.
Wissenschaftliche Mitarbeiterinnen und Mitarbeiter
