Labor Halbleitertechnologie (Wintersemester 2024/2025)

Das Labor wird im Wintersemester 2024/25 angeboten. Die teilnehmenden Personen werden in dem Labor alle zur Herstellung einer integrierten Schaltung notwendigen Prozessschritte kennen lernen und zum größten Teil selbst ausführen. Die von den teilnehmenden Personen hergestellten Halbleiterbauelemente werden elektrisch charakterisiert. Kenntnisse aus den Vorlesungen Halbleitertechnologie und Grundlagen der Halbleiterbauelemente sind Voraussetzung für die Teilnahme an dem Labor. Die Kenntnisse sind zu Beginn des Labors in einem schriftlichen Test nachzuweisen.

Blick in den Gleblichtbereich eines Reinraums Blick in den Gleblichtbereich eines Reinraums Blick in den Gleblichtbereich eines Reinraums © LNQE 2015

Inhalt

  • Nasschemische Reinigung
  • Thermische Oxidation
  • Fotolithografie
  • Ionenimplantation
  • Rapid thermal annealing (RTA)
  • Nasschemische Strukturierung
  • Metallisierung
  • elektrische Charakterisierung

Ablaufplanung (Stand August 2024)

In diesem Semester findet die Zulassungsprüfung für das Labor bereits am 14.10.2024 um 9 Uhr in Raum 031 in Gebäude 3702 (Schneiderberg 32) statt. Alle für das Testat notwendigen Informationen finden Sie im Laborskript, das in der Stud.IP-Veranstaltung des Labors unter "Dateien" zur Verfügung steht. Weitere Informationen zum Ablauf des Labors sind in der, ebenfalls im Stud.IP hinterlegen, Informationspäsentation zusammengefasst. Die Prüfung beinhaltet Fragen rund um das Halbleiterlabor.
Um zum Labor zugelassen zu werden, müssen Sie mindestens die Hälfte der Fragen richtig beantworten. Sollten mehr Personen diese Bedingung erfüllen, werden die Personen mit den höchsten Punktzahlen für das Labor zugelassen.

Sollten Sie Fragen zur Prüfung haben, kontaktieren Sie bitte mich zeitnah im Vorfeld.

Weitere Informationen zum eigentlichen Laborablauf werden in einer Informationsveranstaltung bekannt gegeben, die im Dezember stattfinden wird.

Termin Vorbesprechung

Für das Labor Halbleitertechnologie wird es eine Vorbesprechung geben. Der Termin wird zu Beginn des Semesters hier bekannt gegeben.


Kontaktpersonen

Dozent

J. Krügener
Dr.-Ing.
J. Krügener
Dr.-Ing.

Betreuer

J. Krügener
Dr.-Ing.
J. Krügener
Dr.-Ing.

Betreuer

O. Kerker
Dipl.-Ing.
O. Kerker
Dipl.-Ing.

Betreuerin

H. Genath
M. Sc.
H. Genath
M. Sc.

Das Laborskript und die Laborordnung des LNQE sind im Stud.IP zu finden.